Termal İnce Film Kaplama Sistemi


Randevu al

Nanovak Kutu tipi Fiziksel Buhar Biriktirme sistemi prizmatik vakum odasına sahiptir. SistemDE 4 adet termal kaynak bulunur. İki, üç veya dört farklı malzemeden oluşan çok katmanlı ince filmler hazırlanabilir. Si, Al, Ti, SiO, Au, Ag, WO, BaF2, MgF2 gibi çok katmanlı, nano metalik, oksit, florür veya nitrür filmler üretmek için kullanıcı arzularına uyacak şekilde uyarlanabilir. 120 ° C'ye kadar iç pişirme seçeneği mevcuttur. 10-8 Torr ana basınç seviyesi, 20 dakikada 2x10-6 Torr vakum seviyesine sahiptir. Geniş (1000 - 10-9 Torr) vakum kontrol ve ölçüm sistemi, 50-700 ° C PID numune ısıtma seçeneği ve 2-30 rpm ayarlanabilir numune rotasyon ünitesi mevcuttur. 2 adet kuarts kristal ile 0.1Å / s çift kanallı hassas kalınlık oranı ölçüm birimi bulunur. 2x2 kanal, 12V - 200A sıralı / birlikte buharlaştırma yapılabilir. En fazla 4” en az 1” düzgün numune ve lamellere ayrıca kırpık numuneler üzerine kaplama yapılabilir. In, Zn, Cd, P, Sn, Pb malzemeleri ve benzeri düşük sıcaklıklarda yüksek buhar basınç değerine sahip olan malzemeler ile kaplama yapılamamaktadır.