Saçtırma Sistemi


Randevu al

Nanovak kutu tipi Fiziksel Buhar Biriktirme sistemi, prizmatik vakum haznesine sahiptir. Bu sistem birlikte buharlaşmayı sağlayan 2 adet termal buharlaştırma, 1 adet DC ve 2 adet RF saçtırma kaynağına sahiptir. Saçtırma sistemleri ile çok katmanlı, farklı malzemelerden yapılmış ince filmler hazırlanabilir. Kombine Sistem, Si, Al, Ti, SiO, WO, BaF2, MgF2, Ti02, Si3N4, SiO2, TiN gibi çok katmanlı, nano metalik, oksit, karbür veya nitrür filmleri üretmek için kullanıcı arzularına uyacak şekilde uyarlanabilir. RF Güç kaynağı, 13,6 MHz, 300 - 1200 W., DC Güç kaynağıise, 0 - 1000 V ve 2000 W'dır. İsteğe bağlı 50 - 700 ° C ± 1 ° C hassasiyetinde PID kontrollü numune ısıtması ve 2 - 30 rpm numune döndürme birimi ile sürekli hız ayarı mevcuttur. Yüklü sistem için 10-8 Torr ana basınç seviyesine sahiptir, bir saatte 10-7 Torr vakum seviyesine ulaşabilir. 2 adet kuarts kristal ile 0.1Å / s çift kanallı hassas kalınlık oranı ölçüm birimi sayesinde hassas kalınlık ölçümü yapılabilir. En fazla 4” en az 1” düzgün numune ve lamellere ayrıca kırpık numuneler üzerine kaplama yapılabilir. In, Zn, Cd, P, Sn, Pb malzemeleri ve benzeri düşük sıcaklıklarda yüksek buhar basınç değerine sahip olan malzemeler ile kaplama yapılamamaktadır.